DeviceNet通訊接口專用質量流量控制器。

*新的半導體制造設備上所搭載的控制器不再采用模擬通訊，而是采用開放式現場網絡通訊技術，以達到高速控制和簡化布線的目的。

在LINTEC，我們**于行業開發了符合SEMI認證標準的DeviceNet?通訊專用質量流量控制器MC-5000L。該系列產品配備了半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC**的環境溫度補足式質流傳感器，還支持液化氣體等多種選配規格。

DeviceNet質量流量控制器
　　　　　　　　　MC-5000L

特點

  • 精度范圍±1%S.P.
  • 使用溫度5～50℃
  • 金屬密封件
  • 無塵生產（粒子標準監控）
  • 環境溫度補足式質流傳感器
  • DeviceNet?通訊

選配規格

  • 小流量F.S.
  • 液化氣體
  • 大流量范圍

使用范例

配線簡化，節省成本

越來越多的半導體設備采用現場網絡進行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA轉換器或IO板，具有成本低，配線少的特點。

規格表

溫度 *小壓差 *大壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *大F.S. 密封件
5~50℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%F.S. 5SCCM 200SLM Au

※此表僅表示一般規格的MFC。 根據選配規格變化。