用于半導體生產工藝的高性能質量流量控制器的EtherCAT通訊版本，符合SEMI認證。EtherCAT通訊用于半導體制造設備的高速傳輸系統。

標配包括半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC**的環境溫度補足式質流傳感器，支持液化氣體等選配規格。

EtherCAT質量流量控制器
　　　　　　　　 MC-5000C

特點

  • 精度范圍±1%S.P.
  • 金屬密封件
  • 無塵生產（粒子標準監控）
  • 環境溫度補足式質流傳感器
  • EtherCAT通訊

選配規格

  • 小流量F.S.
  • 液化氣體
  • 大流量范圍

使用范例

EtherCAT通訊設備的統一化

越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通訊接口（數字I/F），用于高速控制機械臂等運輸系統。EtherCAT通訊有65,536個節點，MFC的所有測量系統和驅動系統元件都可以與EtherCAT通訊統一。

規格表

溫度 *小壓差 *大壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *大F.S. 密封件
15~35℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%F.S. 10SCCM 300SLM Au

※此表僅表示一般規格的MFC。 根據選配規格變化。