ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測儀RGM2-302

日期：2025-07-07 22:34

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摘要：ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測儀RGM2-302

ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測儀RGM2-302

CVD/ALD/Eetche 工藝型號：RGM2-202

愛發(fā)科

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反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測儀Qulee RGM2-202 是一款帶有差動排氣系統(tǒng)的過程監(jiān)測儀，用于反應(yīng)性過程，如“型號：Qulee”的蝕刻和 CVD。
ULVAC 獨特的離子源和排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對反應(yīng)氣體具有出色的耐腐蝕性，可實現(xiàn)長期穩(wěn)定測量。

長處

測量質(zhì)量數(shù)范圍 1~200 amu
在反應(yīng)過程中進(jìn)行長期穩(wěn)定的測量
通信接口，以太網(wǎng)
采用帶磁場的 Claude 離子源軟
電離可減少氣體解離，并防止由于電離室中的熱反應(yīng)而分解和吸附，這是高度敏感的。
緊湊的流路控制閥：
縮短了從工藝腔室到離子源的距離，實現(xiàn)了快速響應(yīng)消解
10^-6 至 13 kPa 在較寬的壓力范圍內(nèi)進(jìn)行測量（通過孔口選擇）
無需 PC 即可進(jìn)行測量
一鍵式功能（人人輕松，無需復(fù)雜作）
連接到傳感器單元時，可以進(jìn)行高達(dá) 120°C 的高溫烘烤。
離子源、二次電子倍增管的預(yù)防性維護(hù)和分析管的可追溯性功能（正在申請**）
可進(jìn)行氦氣泄漏測試、空氣泄漏測試、粘附測試
內(nèi)置軟件（兼容 Windows 8/10/11）

用

CVD、ALD 和蝕刻設(shè)備

過程中的反應(yīng)氣體監(jiān)測
蝕刻和清潔過程的端點監(jiān)控
殘余氣體測量
泄漏測試

規(guī)范

型	RGM2-202	RGM2-302
傳感器
質(zhì)量分離法	四極桿質(zhì)譜儀
質(zhì)量數(shù)范圍	1~200 AMU	1~300 個 AMU
分辨率	M/△M=1M （10%PH）
探測器	SEM/法拉第杯
敏感性	1×10^-3 A/Pa
*小感應(yīng)分壓	1×10^-10 帕
離子源	帶磁鐵的閉式離子源
燈絲	1 V 形 Ir/Y₂O₃
電離電壓	20~70 伏
發(fā)射電流	10μA
Amplifier 范圍	1×10^-5~1×10^-12 一個
烘烤溫度	120°C
差速器排氣系統(tǒng)
進(jìn)氣閥	帶孔流道控制閥
*大采樣壓力	13kPa
差速器排氣系統(tǒng)	中間排氣，吹掃 TMP
渦輪分子泵	67 升/秒：N₂
前級泵	DIS090 系列
皮拉尼真空計	SW1-1
電離真空計	GI-M2 抗體
質(zhì)量	排氣系統(tǒng)：57 公斤 / 控制系統(tǒng)：38 公斤
效用
電源電壓	交流 100V 15A
壓縮空氣	干燥 N₂：0.4~0.7MPa（Φ6 一鍵式接頭）
控制單元
一鍵功能	是 He / H₂O / N₂/ O₂/ 任何氣體
外部輸入/輸出	2 個模擬輸入（0-10V）
	2 個設(shè)定值輸出（異常、警告）
	外部聯(lián)鎖（壓力保護(hù)）
其他
烘烤加熱器	膠帶加熱器
高度調(diào)節(jié)支架	標(biāo)準(zhǔn)
傳感器和控制單元之間的連接電纜	約 5 米
接口	以太網(wǎng)
軟件	Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
選擇	個人電腦

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