ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀RGM2-201F

日期：2025-07-07 23:00

瀏覽次數(shù)：4

摘要：ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀RGM2-201F

ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀RGM2-201F

CVD/ALD/Eetche 工藝型號(hào)：RGM2-201F

愛發(fā)科

打印并
保存目錄

型號(hào)：RGM2-201F 的介紹、購買和考慮

從這里聯(lián)系我們

型號(hào)：RGM2-201F 支持頁面

榮獲 2023 年日本真空工業(yè)協(xié)會(huì)“真空組件大獎(jiǎng)”

反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀 Qulee RGM2-201F 是一款帶有差壓排氣系統(tǒng)的過程監(jiān)測(cè)儀，適用于“型號(hào)：Qulee”的蝕刻、CVD 和 ALD 設(shè)備等反應(yīng)過程。 ULVAC 獨(dú)特的離子源和排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對(duì)反應(yīng)氣體具有出色的耐腐蝕性，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量。

長(zhǎng)處

排氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)是集成的，可以垂直安裝，并且世界上*小的占地面積使得即使在空間有限的生產(chǎn)線上也可以監(jiān)測(cè)反應(yīng)氣體。
在維護(hù)期間更換耗材套件的速度得到了顯著提高，兩名工人的 120 分鐘工作可以由一個(gè)人在 10 分鐘內(nèi)完成。
雙燈絲即使在**根燈絲斷裂的情況下也能在不停止生產(chǎn)線的情況下進(jìn)**體分析。
觸摸面板用于實(shí)時(shí)檢查狀態(tài)。
從啟動(dòng)到測(cè)量的作只能在計(jì)算機(jī)上完成。
得益于我們專有的帶磁體的閉式離子源，即使在反應(yīng)過程中，也可以進(jìn)行長(zhǎng)期穩(wěn)定的測(cè)量。
電離室氣體解離少，靈敏度高，僅使用法拉第杯即可實(shí)現(xiàn)高靈敏度氣體分析。
緊湊的流路控制閥，可防止熱反應(yīng)引起的分解和吸附。
縮短了從工藝室到離子源的距離，并且可以快速響應(yīng)分解。
加強(qiáng)預(yù)防性維護(hù)功能離子源和二次電子倍增管的
預(yù)防性維護(hù) 安裝
分析管的可追溯性功能（**號(hào) 5016031）
標(biāo)準(zhǔn)軟件與 Windows 8/10/11 兼容。

用

CVD、ALD 和蝕刻設(shè)備

過程中的反應(yīng)氣體監(jiān)測(cè)
蝕刻清洗過程的端點(diǎn)監(jiān)控
器
殘余氣體測(cè)量

規(guī)范

傳感器

質(zhì)量數(shù)范圍（amu）	1~200
分辨率（m/ΔM）	M/ΔM=1M（10%P.H.）
探測(cè)器	法拉第杯（FC）
靈敏度（A/Pa） ^＊1	1e-5A/Pa（引入直接孔口連接，Ie = 50uA） N2 氣體 = 5e-4Pa 在 Ee 50V
*小感應(yīng)分壓（Pa） ^＊1	E-10Pa （EE50V， IE500uA）
總壓力測(cè)量功能 ^*¹	和
全壓力測(cè)量范圍 ^*¹	1E-3 ~ E-6 PA 單元
離子源	帶磁體閉式離子源
燈絲	Ir/Y₂O₃ 2（其中 1 個(gè)是備用的）
電離電壓（EE; eV）	20~70eV （Ie50uA 推薦 50V 設(shè)置）
發(fā)射電流（IE;uA）	50uA/500uA（EE50V，過程測(cè)量推薦 50uA）

*1 備用燈絲（FIL2）不適用。

差速器排氣系統(tǒng)

連接法蘭	VCR1/2“ 螺母等效
規(guī)格壓力	可在 0.5~30Pa/10~500Pa 中選擇
渦輪分子泵	UTM70B（70升/秒）
Foreline 泵	無前級(jí)液進(jìn)口：KF16 保證前級(jí)壓力：500Pa 或更低用于前級(jí)壓力檢查的皮拉尼真空計(jì)：SW100-A
用于設(shè)備壓力監(jiān)測(cè)的真空計(jì)	電容壓力計(jì) “型號(hào)： CCMT”

效用

電源電壓	AC100~120V/6A，AC200~220V/3A
壓縮空氣	干燥 N2：0.4MPa

其他

質(zhì)量	20公斤
控制單元	觸控面板
塊式加熱裝置	110°C±10°C

選擇

分析管	RGM-AN201F 系列	用于 RGM2-201F
離子源	RGM-IS01F 系列	用于 RGM2-201F
耗材套件	RGM-FL01F 系列	用于 RGM2-201F
孔	RGM-OF030F 系列	RGM2-201F 用（工作壓力范圍： 0.5~30Pa）
孔	RGM-OF010F 系列	RGM2-201F 用（工作壓力范圍： 10~500Pa）

下一篇： ULVAC帶差動(dòng)排氣系統(tǒng)四極桿質(zhì)譜儀YTP-H 常壓
上一篇： ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀RGM2-302

京公網(wǎng)安備 11030102010384號(hào)