ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀HGM2-302

日期：2025-07-07 23:05

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摘要：ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀HGM2-302

ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀HGM2-302

高性能工藝型號(hào)：HGM2-302

愛發(fā)科

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型號(hào)：HGM2-302 的介紹、購(gòu)買和考慮

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型號(hào)：HGM2-302 技術(shù)支持頁(yè)面

Qulee HGM2 是 ULVAC 新型殘余氣體分析儀“Qulee”（以太網(wǎng)通信）的**型號(hào)，具有簡(jiǎn)單性和易用性。 2.5 × 10^-6實(shí)現(xiàn)了A/PA（法拉第杯）的高靈敏度，滿足了從各種研發(fā)應(yīng)用到真空設(shè)備過(guò)程管理的所有需求。

長(zhǎng)處

測(cè)量質(zhì)量數(shù)范圍 1~300 amu
理想的研發(fā)應(yīng)用作為
**特性的*高靈敏度 2.5×10^-6A/Pa

通信接口
兼容以太網(wǎng)通信
內(nèi)置顯示器設(shè)計(jì)無(wú)需 PC 即可
進(jìn)行測(cè)量
作簡(jiǎn)單：一鍵功能（每個(gè)人都可以輕松，無(wú)需復(fù)雜作）
支持烘烤連接
傳感器單元時(shí)，可進(jìn)行高達(dá) 250°C 的高溫烘烤（傳感器單元分離狀態(tài)：300°C）
配備脫氣功能，
電子沖擊脫附方式
維護(hù) 易于更換
燈絲、離子源和二次電子倍增管
加強(qiáng)預(yù)防性維護(hù)功能離子源和二次電子倍增管的
預(yù)防性維護(hù) 安裝
分析管的可追溯性功能（**號(hào) 5016031）
增強(qiáng)的泄漏測(cè)試功能可進(jìn)行氦
氣泄漏測(cè)試、空氣泄漏測(cè)試和附著測(cè)試。
總壓測(cè)量
可測(cè)量總壓（電離真空計(jì)功能）
Qulee QCS 兼容
軟件作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供（與 Windows 8/10/11 兼容）
一致性標(biāo)準(zhǔn)：
符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

用

溫控脫附氣體分析等各種研發(fā)
超高真空和超高真空排氣系統(tǒng)的殘余氣體分析等。
測(cè)定氣體中的痕量雜質(zhì)
與太陽(yáng)能電池相關(guān)的研發(fā)
有機(jī)物分析
環(huán)境測(cè)量

規(guī)范

型	HGM2-202		HGM2-302
質(zhì)量分離法	四極桿質(zhì)譜儀
質(zhì)量數(shù)范圍	1 ~ 200 AMU		1 ~ 300 阿姆
分辨率	M/ ΔM=1M （10% P.H.）
探測(cè)器	法拉第杯	二次電子倍增管	法拉第杯	二次電子倍增管
敏感性	2,5×10^-6A/Pa @1.0mA	4 A/Pa	2.0×10^-6A/Pa @1.0mA	4 A/Pa
*小感應(yīng)分壓	10^-9PA 單元	10^-13PA 單元	10^-9PA 單元	10^-13PA 單元
*大指定壓力	1×10^-2帕
燈絲	LR/_Y2O32個(gè)
電離電壓	25 ~ 70 eV （默認(rèn)：70 eV）
發(fā)射電流	0.1mA/0.5mA/1.0mA （默認(rèn)為 0.5mA）
DEGAS	電子沖擊脫附法 330V，5mA
總壓力測(cè)量功能	是/ 10^-2 ~ 10^-5帕
一鍵功能	是 / He / H₂O / N₂ / O₂ / 任何氣體
一鍵式泄漏檢查	和
電源電壓	DC24V±10% 50W
質(zhì)量（傳感器單元/分析管）	2.4 千克 / 0.81 千克
*高烘烤溫度（連接傳感器單元時(shí)）	250°C
*高烘烤溫度（拆下傳感器單元時(shí)）	300°C
工作溫度范圍	10 ~ 40°C
工作濕度范圍	15 ~ 80% （但無(wú)冷凝）
IP 防護(hù)等級(jí)	IP30 （傳感器單元）
電源連接器	MSTBV2.5 / 3-STF-5.08
通信接口	以太網(wǎng)規(guī)格
外部輸入/輸出連接器	D-sub 15 針/M2.6 螺絲（可選）
通信連接器	RJ45 端口
外部輸入/輸出信號(hào)	2 個(gè)模擬輸入（0-10V） ×、1 個(gè)外部聯(lián)鎖輸入（壓力保護(hù)）、×× 個(gè)錯(cuò)誤輸出（FIL、SEM、RF 故障）、分壓器設(shè)定點(diǎn)輸出 ×2（異常、警告）、總電壓設(shè)定點(diǎn)輸出 ×1
軟件	Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
標(biāo)準(zhǔn)配件	電源連接器、LAN 電纜（3m）、軟件（安裝 CD）、使用說(shuō)明書（CD）
選項(xiàng)（請(qǐng)參閱 Qulee 選項(xiàng)目錄）	LAN 電纜（10、15、20、30、50 米）、交流適配器、USB-LAN 適配器、交換集線器（8 或 16 個(gè)端口）、I/O 連接器、護(hù)套加熱器、手提箱
法規(guī)遵從性	CE

* 使用交流電源時(shí)，請(qǐng)務(wù)必準(zhǔn)備交流適配器（參見 Qulee 選件目錄）

選擇

分析管	HGM-AN202 系列	用于 HGM（2）-202/302
耗材/維修套件	QFL-001 型	用于 HGM（2）-202/302
離子源	QIS-001 系列	用于 HGM（2）-202/302
二次電子倍增管	QEM-001 系列	HGM（2）-202/302， RGM（2）-202/302

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