ULVAC愛發科殘余氣體分析儀HGM2-202

日期：2025-07-08 00:18

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摘要：ULVAC愛發科殘余氣體分析儀HGM2-202

ULVAC愛發科殘余氣體分析儀HGM2-202

高性能工藝型號：HGM2-202

愛發科

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型號：HGM2-202 技術支持頁面

Qulee HGM2 是 ULVAC 新型殘余氣體分析儀“Model： Qulee”（支持以太網通信）的**型號，具有簡單性和易用性。
2.5 × 10 ^-6實現了A/PA（法拉第杯）的高靈敏度，滿足了從各種研發應用到真空設備過程管理的所有需求。

長處

測量質量數范圍 1~200 amu
理想的研發應用作為
**特性的*高靈敏度 2.5×10^-6A/Pa

通信接口
兼容以太網通信
內置顯示器設計無需 PC 即可
進行測量
作簡單：一鍵功能（每個人都可以輕松，無需復雜作）
支持烘烤連接
傳感器單元時，可進行高達 250°C 的高溫烘烤（傳感器單元分離狀態：300°C）
配備脫氣功能，
電子沖擊脫附方式
維護易于更換
燈絲、離子源和二次電子倍增管
加強預防性維護功能離子源和二次電子倍增管的
預防性維護安裝
分析管的可追溯性功能（**號 5016031）
增強的泄漏測試功能可進行氦
氣泄漏測試、空氣泄漏測試和附著測試。
總壓測量
可測量總壓（電離真空計功能）
Qulee QCS 兼容
軟件作為標準配置提供（與 Windows 8/10/11 兼容）
一致性標準：
符合 CE 標準

用

溫控脫附氣體分析等各種研發
超高真空和超高真空排氣系統的殘余氣體分析等。
測定氣體中的痕量雜質
與太陽能電池相關的研發
有機物分析
環境測量

規范

型	HGM2-202		HGM2-302
質量分離法	四極桿質譜儀
質量數范圍	1 ~ 200 AMU		1 ~ 300 阿姆
分辨率	M/ ΔM=1M （10% P.H.）
探測器	法拉第杯	二次電子倍增管	法拉第杯	二次電子倍增管
敏感性	2,5×10^-6A/Pa @1.0mA	4 A/Pa	2.0×10^-6A/Pa @1.0mA	4 A/Pa
*小感應分壓	10^-9PA 單元	10^-13PA 單元	10^-9PA 單元	10^-13PA 單元
*大指定壓力	1×10^-2帕
燈絲	LR/_Y2O32個
電離電壓	25 ~ 70 eV （默認：70 eV）
發射電流	0.1mA/0.5mA/1.0mA （默認為 0.5mA）
DEGAS	電子沖擊脫附法 330V，5mA
總壓力測量功能	是/ 10^-2 ~ 10^-5帕
一鍵功能	是 / He / H₂O / N₂ / O₂ / 任何氣體
一鍵式泄漏檢查	和
電源電壓	DC24V±10% 50W
質量（傳感器單元/分析管）	2.4 千克 / 0.81 千克
*高烘烤溫度（連接傳感器單元時）	250°C
*高烘烤溫度（拆下傳感器單元時）	300°C
工作溫度范圍	10 ~ 40°C
工作濕度范圍	15 ~ 80% （但無冷凝）
IP 防護等級	IP30 （傳感器單元）
電源連接器	MSTBV2.5 / 3-STF-5.08
通信接口	以太網規格
外部輸入/輸出連接器	D-sub 15 針/M2.6 螺絲（可選）
通信連接器	RJ45 端口
外部輸入/輸出信號	2 個模擬輸入（0-10V） ×、1 個外部聯鎖輸入（壓力保護）、×× 個錯誤輸出（FIL、SEM、RF 故障）、分壓器設定點輸出 ×2（異常、警告）、總電壓設定點輸出 ×1
軟件	Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
標準配件	電源連接器、LAN 電纜（3m）、軟件（安裝 CD）、使用說明書（CD）
選項（請參閱 Qulee 選項目錄）	LAN 電纜（10、15、20、30、50 米）、交流適配器、USB-LAN 適配器、交換集線器（8 或 16 個端口）、I/O 連接器、護套加熱器、手提箱
法規遵從性	CE

* 使用交流電源時，請務必準備交流適配器（參見 Qulee 選件目錄）

選擇

分析管	HGM-AN202 系列	用于 HGM（2）-202/302
耗材/維修套件	QFL-001 型	用于 HGM（2）-202/302
離子源	QIS-001 系列	用于 HGM（2）-202/302
二次電子倍增管	QEM-001 系列	HGM（2）-202/302， RGM（2）-202/302

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