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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
內(nèi)置編碼器全閉環(huán)控制，帶編碼器的高精度定位滑臺。
通過專用驅(qū)動器對5相步進(jìn)馬達(dá)及光柵尺進(jìn)行反饋控制，實現(xiàn)高精度定位。
20um柵距的柵尺通過細(xì)分電路進(jìn)行細(xì)分，*高分辨率可達(dá)2.5nm;
【分辦率2.5nm、5nm、10nm、20nm、50nm、100nm 可選】
新增直動滑臺9個機型，水平面Z軸滑臺3個機型。
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