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文章詳情
EBARA荏原干式真空泵 EV-M1205SF北崎供應
日期：2025-07-09 00:39
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摘要：EBARA荏原 干式真空泵 EV-M1205SF，北崎有售，歡迎咨詢。
EBARA荏原 干式真空泵 EV-M1205SF
EBARA荏原 干式真空泵 EV-M1205SF
產品介紹
以荏原**高溫技術，在半導體、液晶和太陽能電池制造工藝中，滿足發生反應副產物的高負荷工藝要求。通過高度的節能性能，同時滿足高負荷工藝要求和節能要求。標配耐腐蝕性材料，提供110,000L/min的大排氣量機型。通過滿足工藝條件要求的豐富產品陣容，能夠滿足大范圍的高負荷工藝要求。
規格
| 設備名稱 | 單位 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 排氣速度 | L/min | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
| 極限壓力 | Pa | 5.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接口徑 | 吸氣口 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力時功率概值 | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa?m3/s | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
|
| 400V機型 |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
- |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
||
| 電源容量 | kVA | 3.3 | 5.4 | 6.0 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 質量概值 | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |
