Mitutoyo三豐 超高精度三坐標(biāo)測量機(jī)的工作原理

產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢

LEGEX系

列是初項(xiàng)

達(dá)0.28μm的高精度CNC三坐標(biāo)測量機(jī)，對所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并排除或*大程度地降低其影響

。

● 本體底座部分嚴(yán)選材料，采用密封結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)高剛性、高衰減性。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行徹底的應(yīng)力分析，保證了幾何運(yùn)動(dòng)精

度，使負(fù)荷及其它變量波動(dòng)造成的誤差降至*小。此外，還引入了各種技術(shù)來實(shí)現(xiàn)超高精度，如驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)和振動(dòng)對策等

。

● 用于位置檢測的長度測量單元配備了超高精度測量單元（自社開發(fā)），該單元采用熱膨脹系數(shù)為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨

力、高性能反射線性編碼器的組合，具有極高的位置檢測能力，可實(shí)現(xiàn)超高精度的機(jī)器控制功能。此外，提供豐富的選件，包括觸發(fā)式

和非觸發(fā)式測頭，數(shù)據(jù)處理部等支持各種工件輕松實(shí)現(xiàn)高精度測量。

原理：

CMM的工作原理基于三點(diǎn)定位原理和三維坐標(biāo)系。它配有一個(gè)可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測器，該探測器能在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，以接觸或非接觸的方式獲取被測物體表面點(diǎn)的坐標(biāo)信息。將被測物體置于CMM的測量空間內(nèi)，探測器通過掃描物體表面，記錄下各測點(diǎn)的三維坐標(biāo)值。隨后，這些坐標(biāo)值經(jīng)過計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理，擬合形成測量元素（如點(diǎn)、線、面、圓等），并通過數(shù)算得出被測物體的幾何尺寸、形狀和位置誤差。