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- POLARION普拉瑞探照燈
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新聞詳情
ULVAC愛發科殘余氣體分析儀BGM2-102
日期：2025-07-08 05:35
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摘要：ULVAC愛發科殘余氣體分析儀BGM2-102
ULVAC愛發科殘余氣體分析儀BGM2-102
ULVAC愛發科殘余氣體分析儀BGM2-102
基本流程型號：BGM2-101 / 102
愛發科
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型號：BGM2-101 / 102 的介紹、購買和考慮
從這里聯系我們
型號：BGM2-101 / 102 支持頁面
簡單性和易用性與 ULVAC 的新型殘余氣體分析儀 （RGA） 相結合。 這是過程監控新標準的出現，它體現了各種生產線上設備工程師的聲音。 它非常適合真空沉積設備和各種真空爐的設備管理。
長處
- 性價比優異的通用規格
- 測量質量數范圍 1~100 amu
- 集成顯示設計：無需計算機即可進行測量
- 易于使用： 一鍵功能： 對每個人都很容易。 無需并發癥
- 加強泄漏檢測功能
- 可以進行全壓測量
- 標配 Qulee QCS 軟件
- 符合 CE 標準
用
- 真空沉積設備和濺射設備等沉積設備的殘余氣體分析
- 高真空排氣系統的殘余氣體分析
- 冷凍干燥機中的殘余氣體分析
- 用于研發的各種氣體分析
規范
分辨率：M/△M=1M（10% P.H.）
| 型 | BGM2-101 系列 | BGM2-201 型 | 型號 BGM2-102 | BGM2-202 系列 |
| 質量分離法 | 四極桿質譜儀 | |||
| 質量數范圍 | 1~100 阿姆 | 1~200 AMU | 1~100 阿姆 | 1~200 AMU |
| 探測器 | 法拉第杯 |
二次電子倍增管法 拉第杯 |
||
| 敏感性 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| *小感應分壓 | 10-8帕 | 10-12帕 | ||
| *大工作壓力 | 1x10-2帕 | |||
| 總壓力測量功能 | 和 | |||
| 一鍵功能 | 是/他/H2O/N2/O2/任何氣體 | |||
|
一鍵式泄漏 檢查 |
和 | |||
| 電源電壓 | DC24V±10% 50W | |||
|
*高烘烤 溫度 （連接傳感器單元時） |
120°C | |||
|
*高烘烤 溫度 （拆下傳感器單元時） |
250°C | |||
| 工作溫度范圍 | 10~40°C | |||
| 軟件 | Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11） | |||
| 法規遵從性 | CE | |||
選擇
| 分析管 | BGM-AN101/201 系列 | BGM（2）-101/201 |
| 分析管 | BGM-AN102/202 系列 | BGM（2）-102/202 |
| 離子源 | BGM-IS01 系列 | BGM（2）/REGA 樂隊 |
| 二次電子倍增管 | BGM-EM01 系列 | 用于 BGM-AN102/102 |
